半导体装备，新材料，功能涂层或薄膜，真空系统工程等。具体包括：阻尼涂层减振研究；固体润滑薄膜的研制及其特性研究；硬质涂层、耐磨涂层的开发及其特性研究；光、电、热等功能薄膜研究；分子动力学研究；真空获得设备及真空镀膜装备设计及理论；大型真空系统设计方法。