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MEMS课题组简介


  微机电系统(英语:Microelectromechanical Systems,缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内。比它更小的,在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。
  本组主要从事纳米结构材料和微器件的机械表征、 MEMS / NEMS执行器和传感器的发展、纳米/微型材料和器件的动态测试和机器人设计与控制等方面的研究工作。MEMS是多种学科交叉融合并具有战略意义的前沿高技术,是未来的主导产业之一。MEMS以其微型化的优势,在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。
1 国外概况
   MEMS技术自20世纪80年代末开始受到世界各国的广泛重视,其主要技术途径有3种:(1)以美国为代表的、以集成电路加工技术为基础的硅基微加工技术;(2)以德国为代表发展起来的LIGA技术;(3)以日本为代表发展的精密加工技术。
2 国内概况
  我国MEMS的研究始于20世纪90年代初,起步并不晚,在“八五”、“九五”期间得到了科技部、教育部、中国科学院、国家自然科学基金委和原国防科工委的支持。经过10年的发展,我国在多种微型传感器、微型执行器和若干微系统样机等方面已有一定的基础和技术储备,初步形成了几个MEMS研究力量比较集中的地区。
但是总体来讲,我国的MEMS发展与国外差距还是很大的,而未来机械以及电子工业的发展势必会向小型化、高集成、高效化发展,可见其发展前景与市场空间巨大。