主要研究低温等离子体在生物医学，半导体芯片制造领域的应用。

1、等离子体生物医学方面：主要进行生物新材料、等离子体对生物组织及细胞作用方面的研究，属于物理学与生物医学的交叉学科研究。

2、半导体芯片制造方面：主要进行芯片制造工艺中，低温等离子体装置及半导体材料表面处理与改性过程的研究，研究内容包含等离子体表面刻蚀与薄膜沉积等关键工艺。