张磊

  • 教授 博士生导师 硕士生导师
  • 所在单位：机械工程与自动化学院
  • 职务：教授/博士生导师
  • 联系方式：
  • 学位：博士
  • 在职信息：在职
  • 毕业院校：中国科学院大学

      曾获荣誉：

    • 2022-06  曾获荣誉当选：  辽宁省技术发明二等奖
    • 2018-08  曾获荣誉当选：  辽宁省自然科学学术成果奖

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科研项目

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MEMS晶圆的光刻胶精细雾化与涂胶显影制程

发布时间：2024-07-26　点击次数：

    项目名称：MEMS晶圆的光刻胶精细雾化与涂胶显影制程

    项目来源：辽宁省应用基础研究计划

    结项日期：2024-06-01

    开始日期：2022-06-01


校址：辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号 | 邮编：110819
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