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张磊
教授 博士生导师 硕士生导师
所在单位：机械工程与自动化学院
职务：教授/博士生导师
联系方式：
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学位：博士
在职信息：在职
毕业院校：中国科学院大学
曾获荣誉：
2022-06 曾获荣誉当选： 辽宁省技术发明二等奖
2018-08 曾获荣誉当选： 辽宁省自然科学学术成果奖
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研究领域
集成电路装备与创新制程、新型显示OLED喷印装备、光伏能源喷印制造装备
论文成果
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[ 1 ]Zhang Lei*Atomized Droplets Separation Dynamics in a Cyclone Separator.Industrial & Engineering Chemistry Research,2026,65(17):9001-9012
[ 2 ]Zhang Lei*Non-contact droplet breakup induced by acoustic potential wells.Ultrasonics,2026,164:108021
[ 3 ]Zhang Lei*Airflow-assisted acoustic spray coating for suppressing pinhole defects on photoresist film.Materials Science in Semiconductor Processing,2025,196:109657
[ 4 ]Zhang Lei*Multi-jet breakup based monodisperse droplet generator with extended jetting patterns.Chemical Engineering Journal,2025,519:164836
[ 5 ]张磊,The microparticles adhesion and removal dynamics in wafer-scale physical cleaning process.Physics of Fluids,2025,37(2):023318
[ 6 ]张磊*Photoresist Spray Coating on Silicon Wafers With Acoustic Resonate Atomization.IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing,2024,37(4):576-582
科研项目
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[ 1 ]MEMS晶圆级封装的高粘度光刻胶直接雾化与共形涂膜机理研究，国家自然科学基金项目（面上）
[ 2 ]激光开膜的晶硅太阳电池栅极喷墨打印成形与Ag/Si接触机理研究，国家自然科学基金项目（面上）
[ 3 ]G8.5及以上OLED喷墨打印装备开发及产业化，广东省新型显示璀璨行动重大专项
[ 4 ]集成电路先进制程用高产能物理清洗机研制，辽宁省集成电路创新联合体重大专项
[ 5 ]MEMS晶圆的光刻胶精细雾化与涂胶显影制程，辽宁省应用基础研究计划
[ 6 ]晶圆搬运机械手智能化系统开发与验证，技术转化
