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蔺增

Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Name (Pinyin):linzeng
E-Mail:
Date of Employment:2004-10-01
Administrative Position:教授、博导
Education Level:With Certificate of Graduation for Doctorate Study
Business Address:东北大学机械工程与自动化学院
Gender:Male
Contact Information:
Status:Employed

山东省泰山产业领军人才
沈阳市高层次人才——领军人才
“真空”（真空工程领域核心学术期刊）编委
《中国表面工程》（SCI、EI检索刊源）编委
沈阳市真空镀膜工程技术研究中心主任
辽宁省光学薄膜专业技术创新平台副主任

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1、半导体薄膜工艺前沿

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开高端半导体薄膜沉积工艺：研究先进PVD（溅射、电弧、离子镀）、CVD工艺。研究等离子体与材料表面的相互作用、薄膜生长机理、界面调控等问题。

薄膜性能精准调控：通过工艺参数的精确控制，实现薄膜应力、显微结构、成分的精准调控，以满足特定电学、光学、力学性能要求。

新型薄膜材料开发：探索用于半导体器件的薄膜材料的制备工艺。

图1 PECVD反应腔体剖面示意图