▶个人简介

蔺增，博士，长聘教授，博士生导师，半导体真空装备概念验证中心主任。辽宁省光学薄膜专业技术创新平台副主任，沈阳市生物机械与表面工程重点实验室主任，沈阳市真空镀膜工程技术研究中心主任，《中国表面工程》（SCI、EI检索刊源）编委，“真空”（真空工程领域核心学术期刊）编委；沈阳市高层次人才—领军人才；山东省泰山产业领军人才。

▶工作简历

• 2004年至今在东北大学机械工程与自动化学院任教。2010年-2016年担任院长助理。

• 2007年至2008年参加中韩青年科学家交流项目，在Yonsei university（韩国）从事植入器械（齿科种植体、心血管支架）表面改性工作。

• 2008年-2009年在上海宝山钢铁集团宝钢研究院，从事不锈钢表面控制研究。

• 2012年组建沈阳市生物机械与表面工程重点实验室。

• 2015年组建辽宁省植入器械与界面科学重点实验室。

• 2015年组建中国机械工程学会表面工程分会表面技术装备专业委员会，组建surfacility平台。

• 2016年组建沈阳市真空镀膜工程技术研究中心。

• 2016年至今担任《中国表面工程》（SCI、EI检索刊源）编委。

• 2016年联合组建辽宁省光学薄膜专业技术创新平台。

• 国家自然科学基金委工程科学部同行评议专家。

• 2019年担任“真空”（真空工程领域核心学术期刊）编委。

• 2026年组建半导体真空装备概念验证中心，发起半导体装备微专业联盟。

▶教学情况

为本科生、研究生开设《真空镀膜》、《流体及化工创新创业实践活动》、《创业基础》等课程。指导本科生毕业设计，已毕业58名同学，1人获得校级优秀毕业设计（陆朱晖）；指导研究生，已毕业66名同学（其中，博士研究生6名），2人获得校级优秀硕士论文（张浩良、庞骏德），在读博士生9人（其中，留学生1人）。指导学生参加创新设计竞赛15项。担任班导师两次（2011-2014；2015-2018）。负责机械工程及自动化专业工程教育国际认证工作，于2013年6月通过认证。

▶科研定位

聚焦半导体真空装备核心零部件研发、AI赋能真空设备智能化升级、核聚变装置真空环控三大战略方向，致力于解决半导体制造领域‘卡脖子’技术难题，实现高端真空装备的自主可控与智能化跃升。

▶学术方向

一、半导体真空装备核心零部件及可靠性

核心部件研发：针对“卡脖子”环节，开展半导体装备核心部件的研发，如高均匀性磁控溅射源、离子源、高温加热盘、精密气体配送系统、真空传输模块等。

开展半导体装备的可靠性设计、多物理场（流场、热场、电磁场、等离子体）仿真与优化、系统集成与控制。

图1 喷淋板的微通道结构和流速图

半导体装备关键零部件的可靠性测试与分析：研究真空环境与服役性能、可靠性、寿命的关联性，建立可靠性数据库，指导装备设计与工艺优化。

二、AI赋能真空设备智能系统

针对真空镀膜、等离子体工艺过程中参数漂移、状态不可见、人工干预滞后等行业痛点，集成多种原位监测传感器，构建多维度的“工艺状态感知网络”，引入人工智能算法实现实时监控与智能闭环控制。

三、核聚变装置真空环控技术

大型聚变实验装置密封面众多，人工难以快速查找漏点。研究远程控制、自动运行及快速定位的智能微漏点检漏系统。开展聚变极端环境下第一壁表面的制备-服役-失效-再生全生命周期行为。

▶联系方式

E-mail：642693893@qq.com；zlin@mail.neu.edu.cn。

欢迎机械工程（专业硕士、专业博士）、流体机械及工程（硕士、博士）优秀同学加入本课题组（半导体真空装备与智能系统），共同成长和进步。欢迎机械、材料、自动化等相关专业的博士到本课题组开展博士后研究。欢迎真空工程与技术、机械、材料、自动化等相关专业的工程技术人员、本科生到本课题组从事科研助理、成果转化、创新项目等工作。