▶个人简介

蔺增，博士，长聘教授，博士生导师，真空与环控课题组负责人。辽宁省光学薄膜专业技术创新平台副主任，沈阳市生物机械与表面工程重点实验室主任，沈阳市真空镀膜工程技术研究中心主任，《中国表面工程》（SCI、EI检索刊源）编委，“真空”（真空工程领域核心学术期刊）编委；沈阳市高层次人才——领军人才；山东省泰山产业领军人才。

▶工作简历

• 2004年至今在东北大学机械工程与自动化学院任教。2010年-2016年担任院长助理。

• 2007年至2008年参加中韩青年科学家交流项目，在Yonsei university（韩国）从事植入器械（齿科种植体、心血管支架）表面改性工作。

• 2008年-2009年在上海宝山钢铁集团宝钢研究院，从事不锈钢表面控制研究。

• 2012年组建沈阳市生物机械与表面工程重点实验室。

• 2015年组建辽宁省植入器械与界面科学重点实验室。

• 2015年组建中国机械工程学会表面工程分会表面技术装备专业委员会。

• 2016年组建沈阳市真空镀膜工程技术研究中心。

• 2016年至今担任《中国表面工程》（SCI、EI检索刊源）编委。

• 2016年联合组建辽宁省光学薄膜专业技术创新平台。

• 国家自然科学基金委工程科学部同行评议专家。

• 2019年担任“真空”（真空工程领域核心学术期刊）编委。

▶教学情况

为本科生、研究生开设《真空镀膜》、《流体及化工创新创业实践活动》等课程。指导本科生毕业设计，已毕业54名同学，1人获得校级优秀毕业设计（陆朱晖）；指导研究生，已毕业63名同学（其中，博士研究生6名），2人获得校级优秀硕士论文（张浩良、庞骏德），在读博士生9人（其中，留学生1人）。指导学生参加创新设计竞赛15项。担任班导师两次（2011-2014；2015-2018）。负责机械工程及自动化专业工程教育国际认证工作，于2013年6月通过认证。

▶学术方向

1、半导体薄膜工艺前沿

高端半导体薄膜沉积工艺：研究先进PVD（溅射、电弧、离子镀）、CVD工艺。研究等离子体与材料表面的相互作用、薄膜生长机理、界面调控等问题。

薄膜性能精准调控：通过工艺参数的精确控制，实现薄膜应力、显微结构、成分的精准调控，以满足特定电学、光学、力学性能要求。

新型薄膜材料开发：探索用于半导体器件的薄膜材料的制备工艺。

图1 PECVD反应腔体剖面示意图

2、真空半导体装备设计与集成

核心部件研发：针对“卡脖子”环节，开展半导体镀膜装备核心部件的研发，如高均匀性磁控溅射源、离子源、高温加热盘、精密气体配送系统、真空传输模块等。

装备整机集成与优化：开展真空半导体装备的腔室设计、多物理场（流场、热场、电磁场、等离子体）仿真与优化、系统集成与控制。

在线监测与反馈控制：集成原位监测传感器（如光发射谱、等），开发基于人工智能的实时工艺监控与闭环反馈控制系统，实现工艺过程的优化和控制。

图2 喷淋板的微通道结构和流速图

3、产教融合与可靠性验证

产学研用合作：与国内半导体设备厂商合作，共同研发关键装备模块或样机，推动科技成果转化。

器件可靠性测试与分析：研究镀膜工艺与最终半导体器件性能、可靠性、寿命的关联性，建立工艺-结构-性能-可靠性数据库，指导装备与工艺的优化。

▶联系方式

E-mail：642693893@qq.com；zlin@mail.neu.edu.cn。

欢迎机械工程（专业硕士、专业博士）、流体机械及工程（硕士、博士）优秀同学加入本课题组，共同成长和进步。欢迎机械、材料、自动化等相关专业的博士到本课题组开展博士后研究。欢迎机械、材料、自动化等相关专业的工程技术人员到本课题组从事科研助理、成果转化等工作。