蔺增
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针对真空镀膜、等离子体工艺过程中参数漂移、状态不可见、人工干预滞后等行业痛点,集成多种原位监测传感器,构建多维度的“工艺状态感知网络”,引入人工智能算法实现实时监控与智能闭环控制。