精密驱控与机器人技术

（1）并联机器人技术与应用：并联机器人构型设计、柔性并联机器人、精密操作机器人；

（2）机器人力控加工技术：多自由度力控末端执行器设计、机器人力控加工算法；

（3）智能机电系统设计与控制：机-电-磁智能装备集成设计、半导体加工检测装备；