于瑞云

  • 教授 博士生导师 硕士生导师
  • 教师拼音名称:Yu Ruiyun
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  • 毕业院校:东北大学

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横向课题,半导体装备SECS/GEM数据采集系统,2025-06至2026-06,45万元

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负责人姓名:于瑞云

项目状态:在研

研究类别:中国电子科技集团公司 第二研究所项目

立项时间:2025-06-10

资助额度(万元):45.0