Research Projects
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[1] 激光开膜的晶硅太阳电池栅极喷墨打印成形与Ag/Si接触机理研究,National Natural Science Foundation of China (NSFC)
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[2] G8.5及以上OLED喷墨打印装备开发及产业化,广东省新型显示璀璨行动重大专项
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[3] 集成电路先进制程用高产能物理清洗机研制,辽宁省集成电路创新联合体重大专项
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[4] MEMS晶圆的光刻胶精细雾化与涂胶显影制程,辽宁省应用基础研究计划
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[5] 晶圆搬运机械手智能化系统开发与验证,技术转化
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[6] 8/12英寸晶圆喷印涂胶工艺研发,技术转化
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[7] 高精度喷墨图形优化算法与多墨路研制,技术转化
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[8] 晶圆级封装的高精度光刻胶雾化技术研究,中央高校基本科研业务费(战略新兴培育)
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