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张磊
教授 博士生导师 硕士生导师
教师拼音名称：Zhang Lei
出生日期：1981-03-18
电子邮箱：
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入职时间：2007-07-01
办公地点：南湖校区新机械楼539
学位：博士
在职信息：在职
毕业院校：中国科学院大学
2022-06曾获荣誉当选：辽宁省技术发明二等奖
2018-08曾获荣誉当选：辽宁省自然科学学术成果奖
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研究领域
集成电路装备与创新制程、新型显示OLED喷印装备、光伏能源喷印制造装备
论文成果
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[ 1 ]张磊,The microparticles adhesion and removal dynamics in wafer-scale physical cleaning process.Physics of Fluids,2025,37(2):023318
[ 2 ]张磊*Photoresist Spray Coating on Silicon Wafers With Acoustic Resonate Atomization.IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing,2024,37(4):576-582
[ 3 ]Zhang Lei,Multi-layer Uniform Photoresist Coating on Silicon Wafers via Spin-Coupled Inkjet Printing.IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology,2025,15(4):821-829.
[ 4 ]Zhang Lei*Acoustic modulation and non-contact atomization of droplets based on the Fabry–Pérot resonator.Lab on a Chip,2024, 24(9):2418-2427
[ 5 ]Zhang Lei*Acoustic-streaming driven liquid filling patterns inside through-glass vias.Physics of Fluids,2024, 36(7):073301
[ 6 ]Zhang Lei*Longitudinal transducer based membrane resonant ejector for high-viscosity and high-frequency micro-droplet jetting.Sensors and Actuators A: Physical,2024, 374,115480
科研项目
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[ 1 ]激光开膜的晶硅太阳电池栅极喷墨打印成形与Ag/Si接触机理研究，国家自然科学基金项目
[ 2 ]G8.5及以上OLED喷墨打印装备开发及产业化，广东省新型显示璀璨行动重大专项
[ 3 ]集成电路先进制程用高产能物理清洗机研制，辽宁省集成电路创新联合体重大专项
[ 4 ]MEMS晶圆的光刻胶精细雾化与涂胶显影制程，辽宁省应用基础研究计划
[ 5 ]晶圆搬运机械手智能化系统开发与验证，技术转化
[ 6 ]8/12英寸晶圆喷印涂胶工艺研发，技术转化
