研究方向一、真空精密仪器系统及其相关技术 Direction one: Vacuum precision instrument system and related technologies

此研究方向主要涉及各类新型真空精密分析仪器系统的设计、加工、制造及其相关技术的研究。比如，真空烧结炉的结构及温度场和流场有限元理论计算及结构优化设计与研究、真空连续卷绕镀膜系统研究、超高真空微纳探针系统、真空低温恒温变温薄膜微纳器件原位制备表征系统、薄膜器件真空退火与光电特性表征系统及真空高分子薄膜喷射系统的研究与开发等。此方向是与下一代纳米电子材料与器件研究紧密联系在一起的，这是一个高度交叉的应用研究方向，其内容涉及到机械、电子、物理、材料与控制等相关学科领域。详细内容请参阅本组已经发表的科研论文或最新项目动态。